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刘涛  
研究领域(方向)

一、 光电智能检测技术及仪器

     Optoelectronic intelligent inspection technology and instrument

 二、 面向半导体晶圆的前道光学检测技术及装备

     Optical inspection technology and equipment for front-end semiconductor wafers

 三、 面向超精密加工的三维光学检测技术及仪器

     3D optical inspection technology and instrument for ultra-precision machining

个人及工作简历

教育经历:

2003.9-2007.7     哈尔滨工业大学 光电信息工程 本科

2007.9-2013.12    哈尔滨工业大学 仪器科学与技术 硕博连读研究生 (导师:谭久彬 教授、院士)

2010.10-2011.10  国家公派牛津大学联合培养博士 (导师:Tony Wilson 教授、院士)

工作经历:

2021年6月-至今          西安交通大学 机械工程学院 博士生导师

2017年4月-至今          西安交通大学 机械工程学院 副教授

20145-20205  西安交通大学 仪器科学与技术 博士后 (合作导师:蒋庄德 教授、院士)

中国计量测试学会、中国光学学会、中国微米纳米技术学会  高级会员

科研项目

国家重点研发计划项目、 军科委基础加强计划项目、陕西省重点研发计划项目、国家自然科学基金项目、企业产学研课题等。

学术及科研成果、专利、论文

   主要从事光学检测技术测量仪器的研究工作。

   研制了工业型共焦测量显微镜色散共焦三维形貌及厚度测量仪、大视场白光干涉测量仪等,撰写出版十二五国家重点图书《三维高分辨率共焦显微成像与测量技术理论》(共55万字,2014.8,哈工大出版社,读博期间,呕心沥血,四年方成,为本人代表作)

入选首届中国科协青年人才托举工程计划

西安交通大学优秀硕士学位论文指导教师

陕西高等学校科技优秀成果奖一等奖

陕西省第七届研究生创新成果展一等奖指导教师

西安交通大学第34届“腾飞杯”创新创业大赛创业赛金奖指导教师

西安交通大学机械学院谢友柏奖教金获得者

陕西省科技工作者创新创业大赛二等奖

第一届全国博士后创新创业大赛总决赛优胜奖

代表论文:

1. Tao Liu, Jiayi Wang, Qianq Liu, Jiaqi Hu, Zhibin Wang, Chao Wan, Shuming Yang. Chromatic confocal measurement method using a phase Fresnel Zone Plate. Optics Express, 2022, 30(2):2390-2401.

2. Tao Liu, Jiubin Tan, Jian Liu, Hongting Wang. Vectorial design of super-oscillatory lens. Optics Express, 2013, 21(13): 15090-15101.

3. Tao Liu, Tong Shen, Shuming Yang, Zhuangde Jiang. Subwavelength focusing by binary multi-annular plates: design theory and experiment. Journal of Optics, 2015, 17(3), 035610.

4. Tao Liu, Guoqing Li, Jiaqi Hu, Kang Liu, Tao He, Chao Wan, Juanjuan Wu, Shuming Yang. Laser confocal positioning super-oscillatory optical microscopy. Optics Communications, 2023, 548: 129829.

5.何韬, 刘涛*, 刘康, 李国卿, 王佳怡, 田博, 杨树明. 制造误差对大尺度超振荡平面透镜聚焦性能的影响. 光学学报, 2020, 20: 2005001(1-10)封面文章.

联系方式
电子邮箱:liu8483@xjtu.edu.cn
联系电话:029-82663008
联系地址:陕西省西安市咸宁西路28号西安交大机械学院精密工程研究所
更新日期:2023-09-25