带电粒子光学理论及其应用，半导体电子束离子束装备、高端科学仪器的研制

20121.1－ 今        西安交通大学  电子科学与工程学院        教授

2014.1－2020.12    西安交通大学  电信学院        副教授

2008.7－2013.12   西安交通大学 电信学院          讲师

2008.7－2010.3   日本大阪大学  超高压电镜中心    特任研究员

2002.9－2008.7    西安交通大学 电信学院         工学博士

1997.9－2001.7    西安交通大学  电信学院        工学学士

主持国家科技重大专项课题1项、国家自然科学基金3项，以及陕西省重点研发等省部级项目和企业委托科研项目多项

建立了一套带电粒子光学像差的微分代数计算方法，解决了电子束、离子束高阶像差的计算分析难题；已经应用在半导体电子束检测装备、电子显微镜、以及电子束增材制造设备研制中。担任国际电工委员会（IEC）27技术分会26专家组召集人，负责国际标准 IEC 60519-7 和 IEC 60703修订。在带电粒子光学主流学术期刊发表学术论文30余篇，授权国家发明专利10余件。

电子邮箱：yfkang@mail.xjtu.edu.cn

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